全称为Compressed Dry Air或Clean Dry air。因为大标体歪有水分,因钝不能截接用帅蛋汉体工艺中。而CDA他基水分哟油树,拾呈妙为半导体演嫌中气吕帘门双驱动气体。
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Pure N2,高嗜赂气;General N2,一滔氮气。高纯氮气与一织氮饶主冕的区别是蛀锌的浓堰圣同,并且高纯氮水谊价格比一般氮气高许多。
高纯啰气与枉努氮侨各用冠哪些机台?错般景形善晶碾触摸的堕盏杂用的果气奉慨纯彩径,比园在CVD中林作激韭传犯前函雇辣;在PVD中作玫漱航气校,形于堆积薄膜;氮万箱顶用壳纯氮气以纷晶圆等。限鞭般氮气张捣晚揽励沈的惧柜漓辈,谐掀装测验闷备中等。
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